在工業(yè)和研究中高精度表面分析發(fā)揮著至關(guān)重要的作用它可以幫助確保材料和組件實(shí)現(xiàn)令人滿意的性能，但同時也面臨著諸多挑戰(zhàn):表面結(jié)構(gòu)錯綜復(fù)雜，高傾斜度區(qū)域要求橫向分辨率達(dá)到數(shù)微米，而關(guān)鍵性微觀峰谷要求垂直分析達(dá)到亞納米級。雖然共聚焦顯微技術(shù)可以提供高橫向分辨率但要實(shí)現(xiàn)亞納米級垂直分辨率則需要干涉測量技術(shù)。